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dc.contributor.author | Saettone-Olschewski, Erich-Arturo | es |
dc.contributor.other | Saettone-Olschewski, Erich-Arturo | |
dc.date.accessioned | 2016-12-13T15:30:56Z | es |
dc.date.available | 2016-12-13T15:30:56Z | es |
dc.date.issued | 2010 | es |
dc.identifier.citation | Saettone Olschewski, E. (2010). Aplicaciones de la física de plasmas en la industria. Ingeniería Industrial, (28), 195-210. Recuperado de http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223 | es_ES |
dc.identifier.issn | 1025-9929 | es |
dc.identifier.uri | http://repositorio.ulima.edu.pe/handle/ulima/2572 | |
dc.description.abstract | Se presentan las características y propiedades del estado ionizado de la materia, conocido como “plasma”, así como la clasificación, ventajas y beneficios que esta tecnología proporciona en diversas aplicaciones industriales. También se describen los reactores más utilizados para estos procesos: los de evaporación iónica (sputtering) de tipo glow discharge y los de resonancia ciclotrónica electrónica (ECR). | spa |
dc.format | application/pdf | es |
dc.language.iso | spa | es |
dc.language.iso | spa | es |
dc.publisher | Universidad de Lima | es_ES |
dc.relation.uri | http://revistas.ulima.edu.pe/index.php/Ingenieria_industrial/article/view/247/223 | es |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | es |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/pe/ | es |
dc.source | Universidad de Lima | es |
dc.source | Repositorio Institucional Ulima | es |
dc.subject | Física del plasma | es |
dc.subject | Tecnología del plasma | |
dc.subject | Plasma physics | |
dc.subject | Plasma technology | |
dc.subject | Plasma CVD | |
dc.subject | Plasma PVD | |
dc.subject.classification | Ingenierías / Ingeniería industrial | es |
dc.subject.classification | Ciencias / Física | |
dc.title | Aplicaciones de la física de plasmas en la industria | es |
dc.type.other | Artículo | |
dc.identifier.journal | Ingeniería Industrial | es |
dc.publisher.country | Perú | es |
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